半導體用材料減高精度壓閥壓力調整器

半導體用材料減高精度壓閥壓力調整器

產品特點

• 專為特殊氣體應用設計：JETV-1525減壓閥適用于半導體、液晶、太陽能電池等各種半導體用材料氣體的減壓。
• 高精度壓力控制：能夠精確控制氣體的壓力，確保在不同工藝條件下都能保持穩(wěn)定的氣體供應。
• 優(yōu)良的密封性能：采用優(yōu)良的密封技術，有效防止氣體泄漏，確保使用安全。
• 寬廣的調整壓力范圍：可以滿足多種工藝需求，適應不同的工作壓力環(huán)境。
• 耐用性強：采用高質量材料制造，能夠在惡劣的工業(yè)環(huán)境中長期穩(wěn)定運行。

技術參數(shù)

• 入口壓力：14.8MPa以下。
• 調整壓力：最大0.99MPa，量程規(guī)格包括0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa。
• 氣源壓力波動：進口壓力每變化0.1MPa，調整壓力變化0.00075MPa。
• 承受壓力：22.2MPa（進口側）。
• Cv值：0.08。
• 工作溫度：-10°C至+40°C。
• 外部泄漏：1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）。
• 內容量：12.58cm3（不包括3個壓力表和接頭）。
• 重量：約2.4kg。
• 安裝方法：前后面板安裝用螺母安裝。

應用領域

• 半導體制造：用于半導體生產過程中的氣體供應，確保氣體壓力的穩(wěn)定性和精確性。
• 液晶面板生產：在液晶面板制造過程中，用于控制氣體壓力，提高生產效率和產品質量。
• 太陽能電池制造：為太陽能電池生產提供穩(wěn)定的氣體供應，確保生產過程的順利進行。
• 分析儀器：在各種分析儀器中，用于精確控制氣體壓力，提高分析結果的準確性。

產品特點

• 專為特殊氣體應用設計：JETV-1525減壓閥適用于半導體、液晶、太陽能電池等各種半導體用材料氣體的減壓。
• 高精度壓力控制：能夠精確控制氣體的壓力，確保在不同工藝條件下都能保持穩(wěn)定的氣體供應。
• 優(yōu)良的密封性能：采用優(yōu)良的密封技術，有效防止氣體泄漏，確保使用安全。
• 寬廣的調整壓力范圍：可以滿足多種工藝需求，適應不同的工作壓力環(huán)境。
• 耐用性強：采用高質量材料制造，能夠在惡劣的工業(yè)環(huán)境中長期穩(wěn)定運行。

技術參數(shù)

• 入口壓力：14.8MPa以下

  。
• 調整壓力：最大0.99MPa，量程規(guī)格包括0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa。
• 氣源壓力波動：進口壓力每變化0.1MPa，調整壓力變化0.00075MPa

  。
• 承受壓力：22.2MPa（進口側）

  。
• Cv值：0.08

  。
• 工作溫度：-10°C至+40°C

  。
• 外部泄漏：1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）

  。
• 內容量：12.58cm3（不包括3個壓力表和接頭）

  。
• 重量：約2.4kg。
• 安裝方法：前后面板安裝用螺母安裝

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應用領域

• 半導體制造：用于半導體生產過程中的氣體供應，確保氣體壓力的穩(wěn)定性和精確性。
• 液晶面板生產：在液晶面板制造過程中，用于控制氣體壓力，提高生產效率和產品質量。
• 太陽能電池制造：為太陽能電池生產提供穩(wěn)定的氣體供應，確保生產過程的順利進行。
• 分析儀器：在各種分析儀器中，用于精確控制氣體壓力，提高分析結果的準確性

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