電子化工行業(yè)用高純度氣體濕度監(jiān)測儀露點計

電子化工行業(yè)用高純度氣體濕度監(jiān)測儀露點計

• 采用陶瓷傳感器技術(shù)，露點測量精度為 ±2℃，能滿足多數(shù)工業(yè)場合對露點測量的精度要求，是一種兼具性價比的選擇。
• 測量范圍為 - 100℃至 + 20℃，其測量下限更低，在一些對極低濕度環(huán)境進(jìn)行監(jiān)測的場合，如半導(dǎo)體制造中對高純度氣體的濕度監(jiān)測，具有更廣泛的適用性。
• 采用靜電容量式原理及陶瓷傳感器技術(shù)，響應(yīng)時間可達(dá)秒級，能快速捕捉氣體中水分含量的變化，可用于對響應(yīng)速度要求較高的半導(dǎo)體生產(chǎn)等場景。
• 傳感器采用超薄多孔絕緣層(厚度 0.5μm 以下)和導(dǎo)電金屬層設(shè)計，結(jié)合溫度補(bǔ)償技術(shù)，確保輸出線性化且數(shù)據(jù)穩(wěn)定，每個傳感器特性記錄在變送器中，具有高度兼容性和長期可靠性。
• 主要應(yīng)用于電子、制藥、化工、食品等工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其是在半導(dǎo)體制造行業(yè)優(yōu)勢明顯，可用于潔凈室環(huán)境監(jiān)測、氣體純度控制等環(huán)節(jié)，同時也適用于天然氣、石油等能源領(lǐng)域以及環(huán)境監(jiān)測與科研領(lǐng)域。

• 采用陶瓷傳感器技術(shù)，露點測量精度為 ±2℃，能滿足多數(shù)工業(yè)場合對露點測量的精度要求，是一種兼具性價比的選擇。
• 測量范圍為 - 100℃至 + 20℃，其測量下限更低，在一些對極低濕度環(huán)境進(jìn)行監(jiān)測的場合，如半導(dǎo)體制造中對高純度氣體的濕度監(jiān)測，具有更廣泛的適用性。
• 采用靜電容量式原理及陶瓷傳感器技術(shù)，響應(yīng)時間可達(dá)秒級，能快速捕捉氣體中水分含量的變化，可用于對響應(yīng)速度要求較高的半導(dǎo)體生產(chǎn)等場景。
• 傳感器采用超薄多孔絕緣層(厚度 0.5μm 以下)和導(dǎo)電金屬層設(shè)計，結(jié)合溫度補(bǔ)償技術(shù)，確保輸出線性化且數(shù)據(jù)穩(wěn)定，每個傳感器特性記錄在變送器中，具有高度兼容性和長期可靠性。
• 主要應(yīng)用于電子、制藥、化工、食品等工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其是在半導(dǎo)體制造行業(yè)優(yōu)勢明顯，可用于潔凈室環(huán)境監(jiān)測、氣體純度控制等環(huán)節(jié)，同時也適用于天然氣、石油等能源領(lǐng)域以及環(huán)境監(jiān)測與科研領(lǐng)域

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